Dongguan Huazhou Machinery Technology Co., LtdShenzhen Mingyangda Machinery Equipment Co., Ltd.
Many years of practical experience with equipment
Dongguan Huazhou Machinery Technology Co., Ltd: Formerly known as (Shenzhen Mingyangda Machinery Equipment Co., Ltd.), located in China.Dongguan Changping, the factory covers an area of about 6,000 square meters, more than 10 years to focus on precision etching technology and etching machine field, has a complete management quality system certification, gathered a number of senior etching machine research and development, manufacturing of technical personnel, while establishing a precision etching technology related experience in technical training.
More>>在芯片制造的金色大廳里，蝕刻脫膜清洗機正以納米級的精度執行著微觀世界的清潔革命。這臺由不銹鋼腔體、精密噴淋系統和智能控制模塊組成的設備，猶如半導體產線上的白衣衛士，用超純水與化學藥液的交響樂，洗去晶圓表面每一粒不該存在的原子。
當蝕刻后的晶圓進入清洗艙室，十六組扇形噴嘴會以3.5米/秒的速度旋轉噴淋。特制氟塑料管路輸送的清洗液溫度恒定在23±0.5℃，溶解光刻膠的同時確保基底零損傷。設備內置的兆聲波發生器產生頻率高達950kHz的機械波，能在不接觸晶圓表面的情況下震落0.1μm以下的顆粒污染物。
[敏感詞]一代機型搭載了AI視覺檢測系統，通過256納米波長的深紫外光源掃描，可實時識別殘留物類型并自動調節清洗參數。其多階式尾氣處理裝置使溶劑回收率達到98%，每片12英寸晶圓的耗水量降至1.2升。這種將物理清洗與化學清洗相結合的工藝，使圖形轉移后的關鍵尺寸偏差控制在±1.2nm以內。
在5nm制程節點，這臺價值千萬的設備正書寫著新的行業標準。其腔體內壁采用特氟龍涂層處理，表面粗糙度Ra≤0.05μm，避免二次污染。當機械臂將處理完成的晶圓送入氮氣干燥模塊時，表面接觸角測試儀顯示水接觸角已穩定在5°以下——這個數字意味著，人類又一次征服了微觀世界的清潔極限。
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